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26.April 2013 08:19 Uhr

PVA TePla AG, WKN 746100, ISIN DE0007461006

[ Aktienkurs PVA TePla AG | Weitere Meldungen zur PVA TePla AG ]

DGAP-News: PVA TePla AG / Schlagwort(e): Firmenübernahme
PVA TePla AG: Übernahme der JenaWave GmbH

26.04.2013 / 08:19

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(Wettenberg, 26. April 2013) - Die PVA TePla AG, Wettenberg, ein Produzent
von Anlagen für die industrielle Kristallzucht sowie von Plasma-, Vakuum-
und Wärmebehandlungsanlagen, unternimmt nach dem Erwerb der Munich
Metrology GmbH im letzten Jahr einen weiteren Schritt zur Stärkung ihres
Knowhows auf dem Gebiet der Metrologie für die Halbleiterindustrie. Mit
der Übernahme der JenaWave GmbH, Jena, wird grundlegende Technologie für
den Bau von Analysesystemen ins eigene Haus geholt.

JenaWave entwickelt und baut die als Kernkomponenten anzusehenden optischen
Messköpfe inkl. der komplexen Auswertungs- und Steuerungs-Software für die
Analysesysteme vom Typ SIRD (=Scanning Infrared Depolarization) und TWIN
(Thermal Wave Inspection) aus dem Produktbereich Metrologie, der in
Kirchheim bei München ansässig ist. Mit den SIRD Systemen können
unerwünschte Scher-spannungen (Spannungen durch Verschiebungen in der
atomaren Gitterstruktur) in Silizium-Wafern, die durch
Hochtemperaturprozesse während der Herstellung von Halbleiterprodukten
entstehen können, detektiert werden. Die TWIN Systeme überwachen die
Gleichmäßigkeit von Ionen-Implantations-Prozessen. Derartige
Metrologiesysteme werden an alle renommierten Silizium Wafer-Hersteller und
zahl-reiche ihrer Kunden weltweit geliefert und werden dort genutzt, um
komplexe Ferti-gungsschritte in der Wafer- und Halbleiterfertigung zu
überwachen. Des Weiteren entwickelt und fertigt die JenaWave das
polarisationsoptische Messmikroskop SIREX (=Scanning Infrared Reflection
EXamination), das der Scherspannungsvisualisierung insbesondere für die
Entwicklung von 3D-IC und MEMS dient.

Mit der Übernahme von JenaWave erhöht die PVA TePla die Fertigungstiefe und
erwirbt wichtiges Knowhow hinsichtlich der in den Messköpfen verwendeten
Laser-optik. Zudem werden durch die Integration des Unternehmens in den
eigenen Standort Jena produktionsseitig bedeutsame Synergieeffekte erzielt.

Die entsprechenden Inspektionssysteme, in denen die Messkerne verbaut
werden, können u.a. auf der folgenden Webseite
http://www.pvateplaamerica.com/semi_stressimaging.php aufgerufen werden.



Weitere Informationen erhalten Sie bei:
Dr. Gert Fisahn
Investor Relations
PVA TePla AG
Phone: +49(0)641/68690-400
gert.fisahn@pvatepla.com
www.pvatepla.com


Ende der Corporate News

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26.04.2013 Veröffentlichung einer Corporate News/Finanznachricht,
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Sprache: Deutsch
Unternehmen: PVA TePla AG
Im Westpark 10-12
35435 Wettenberg
Deutschland
Telefon: 0641/686900
Fax: 0641/68690800
E-Mail: info@pvatepla.com
Internet: www.pvatepla.com
ISIN: DE0007461006
WKN: 746100
Börsen: Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard);
Freiverkehr in Berlin, Düsseldorf, Hamburg, München,
Stuttgart


Ende der Mitteilung DGAP News-Service
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208660 26.04.2013
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